華豐應用設備在多年的氣體供應、安裝及建廠經驗,特與高雄應用科大化工所合作開發電子產業排放有毒氣體用吸附材料,經測試使用后,成效優越,并能回收再使用3次以上,有效去除有毒氣體外并能降低成本,于今年Semicon Taiwan正式發表此產品(攤位編號:1194),提供客戶更物美價廉的選擇。
隨著高科技產業精進成長,在制程所產出的特殊氣體種類及排放量將隨產能不斷增大,過程中所產生的余氣及廢氣必需經過Scrubber處理后,排至大氣或中央Scrubber再處理。目前Gas Scrubber大部份為進口品,費用十分昂貴,且相關技術皆由歐美日等國掌握,成本相對居高不下。為改變此現況,華豐應用設備總經理朱富俊于3年前投入研發有毒氣體吸附材料,針對半導體、IC、TFT等產業均能有效降低污染,該材料不但壽命長且吸附能力可提高30%,由于材料更換相當簡便,在品質無虞下,已有多家指標大廠積極導入。
此外,該公司也提供乾式廢氣處理機(Dry Scrubber),提供臺灣自制的機臺供客戶選擇。朱富俊指出,減廢為當前首要之務,公司針對產業排放氣體方面盡棉薄之力,未來吸附材料可衍生出更多不同應用(如:除濕),跨足更多元領域來使用。而華豐應用設備也持續開發更多環保綠能產品,取代國外進口,提供國內業者更多優質臺制產品。